Ringkesan Epitaksi Sinar Molekuler (MBE)
Téhnologi Molecular Beam Epitaxy (MBE) dimekarkeun dina taun 1950-an pikeun nyiapkeun bahan pilem ipis semikonduktor nganggo téknologi penguapan vakum. Kalayan kamekaran téknologi vakum ultra-luhur, aplikasi téknologi parantos diperpanjang kana widang élmu semikonduktor.
Motivasi panalungtikan bahan semikonduktor nyaéta paménta pikeun alat-alat anyar, anu tiasa ningkatkeun kinerja sistem. Kahareupna, téknologi bahan anyar tiasa ngahasilkeun alat-alat anyar sareng téknologi anyar. Epitaksi sinar molekul (MBE) nyaéta téknologi vakum anu luhur pikeun kamekaran lapisan epitaksial (biasana semikonduktor). Éta ngagunakeun sinar panas atom sumber atanapi molekul anu mangaruhan substrat kristal tunggal. Karakteristik vakum ultra-luhur tina prosés ieu ngamungkinkeun metalisasi in-situ sareng kamekaran bahan insulasi dina permukaan semikonduktor anu nembé dipelak, ngahasilkeun antarmuka anu bébas polusi.
Téhnologi MBE
Epitaksi sinar molekuler dilaksanakeun dina vakum anu luhur atanapi vakum anu ultra-luhur (1 x 10-8Lingkungan Pa). Aspék anu paling penting tina epitaksi sinar molekul nyaéta laju déposisi anu handap, anu biasana ngamungkinkeun pilem tumuwuh epitaksial dina laju kirang ti 3000 nm per jam. Laju déposisi anu handap sapertos kitu meryogikeun vakum anu cukup luhur pikeun ngahontal tingkat kabersihan anu sami sareng metode déposisi anu sanés.
Pikeun minuhan vakum ultra-luhur anu dijelaskeun di luhur, alat MBE (sél Knudsen) ngagaduhan lapisan pendingin, sareng lingkungan vakum ultra-luhur dina ruang pertumbuhan kedah dijaga nganggo sistem sirkulasi nitrogén cair. Nitrogén cair niiskeun suhu internal alat dugi ka 77 Kelvin (−196 °C). Lingkungan suhu handap tiasa ngirangan eusi pangotor dina vakum sareng nyayogikeun kaayaan anu langkung saé pikeun déposisi pilem ipis. Ku alatan éta, sistem sirkulasi pendingin nitrogén cair khusus diperyogikeun pikeun alat MBE pikeun nyayogikeun suplai nitrogén cair -196 °C anu kontinyu sareng ajeg.
Sistem Sirkulasi Pendingin Nitrogen Cair
Sistem sirkulasi pendingin nitrogén cair vakum utamina ngawengku,
● tangki kriogenik
● pipa vakum utama sareng cabang anu dijahit / selang vakum anu dijahit
● Pamisah fase khusus MBE sareng pipa knalpot anu dijahit vakum
● rupa-rupa klep anu dijahit vakum
● panghalang gas-cair
● saringan anu dilapis vakum
● sistem pompa vakum dinamis
● Sistem pemanasan awal sareng pembersihan
Perusahaan Peralatan Kriogenik HL parantos merhatikeun paménta sistem pendingin nitrogén cair MBE, tulang tonggong téknis anu terorganisir pikeun suksés ngembangkeun sistem pendingin nitrogén cair MBE khusus pikeun téknologi MBE sareng sakumpulan insulasi vakum anu lengkep.edsistem perpipaan, anu parantos dianggo di seueur perusahaan, universitas sareng lembaga panalungtikan.
Peralatan Kriogenik HL
HL Cryogenic Equipment anu diadegkeun dina taun 1992 mangrupikeun mérek anu berafiliasi sareng Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company di Cina. HL Cryogenic Equipment berkomitmen kana desain sareng pabrik Sistem Pipa Cryogenic Insulated Vacuum Tinggi sareng Peralatan Pendukung anu aya hubunganana.
Kanggo inpormasi nu langkung lengkep, mangga buka halaman wéb resmiwww.hlcryo.com, atanapi email kainfo@cdholy.com.
Waktos posting: Méi-06-2021
