Singket ngeunaan Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Téknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE) dikembangkeun dina taun 1950-an pikeun nyiapkeun bahan pilem ipis semikonduktor nganggo téknologi évaporasi vakum. Kalayan ngembangkeun téknologi vakum ultra-tinggi, aplikasi téknologi parantos diperpanjang kana widang élmu semikonduktor.
Motivasi panalungtikan bahan semikonduktor nyaéta paménta pikeun alat anyar, anu tiasa ningkatkeun kinerja sistem. Kahareupna téhnologi bahan anyar bisa ngahasilkeun parabot anyar jeung téhnologi anyar. Molecular beam epitaxy (MBE) mangrupikeun téknologi vakum anu luhur pikeun pertumbuhan lapisan epitaxial (biasana semikonduktor). Éta ngagunakeun sinar panas tina atom sumber atanapi molekul anu mangaruhan substrat kristal tunggal. Karakteristik vakum ultra-luhur tina prosés ngamungkinkeun metallization in-situ jeung tumuwuhna bahan insulasi dina surfaces semikonduktor karek tumuwuh, hasilna interfaces bébas polusi.
Téhnologi MBE
Epitaksi sinar molekuler dilaksanakeun dina vakum tinggi atanapi vakum ultra-luhur (1 x 10-8Pa) lingkungan. Aspék anu paling penting dina epitaksi pancaran molekular nyaéta laju déposisina anu rendah, anu biasana ngamungkinkeun pilem epitaxial tumbuh dina laju kirang ti 3000 nm per jam. Laju déposisi anu rendah sapertos peryogi vakum anu cukup luhur pikeun ngahontal tingkat kabersihan anu sami sareng metode déposisi anu sanés.
Pikeun minuhan vakum ultra-luhur ditétélakeun di luhur, alat MBE （Sél Knudsen） ngabogaan lapisan cooling, jeung lingkungan vakum ultra-luhur chamber tumuwuhna kudu dijaga ngagunakeun sistem sirkulasi nitrogén cair. Nitrogén cair niiskeun suhu internal alat nepi ka 77 Kelvin (−196 °C). Lingkungan hawa low salajengna bisa ngurangan eusi najis dina vakum sarta nyadiakeun kaayaan hadé pikeun déposisi film ipis. Ku alatan éta, sistem sirkulasi cooling nitrogén cair dedicated diperlukeun pikeun parabot MBE nyadiakeun suplai kontinyu sarta ajeg tina -196 °C nitrogén cair.
Sistim sirkulasi nitrogén cair
Sistem sirkulasi penyejukan nitrogén cair vakum utamina kalebet,
● tank cryogenic
● utama jeung cabang vakum jacketed pipe / vakum jacketed selang
● MBE separator fase husus sarta vakum jacketed knalpot pipe
● rupa valves vakum jacketed
● panghalang gas-cair
● vakum jacketed filter
● Sistim pompa vakum dinamis
● Precooling jeung ngabersihan Sistim reheating
HL Cryogenic Equipment Company geus noticed paménta sistem cooling nitrogén cair MBE, diatur tulang tonggong teknis pikeun hasil ngamekarkeun sistem cooing nitrogén cair MBE husus pikeun téhnologi MBE sarta set lengkep insulating vakum.edSistem pipa, anu parantos dianggo dina seueur perusahaan, paguron luhur sareng lembaga panalungtikan.
HL Cryogenic Equipment
HL Cryogenic Equipment anu diadegkeun dina 1992 mangrupikeun merek anu aya hubunganana sareng Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company di Cina. HL Cryogenic Equipment geus komitmen kana rarancang jeung pabrik tina High vakum Insulated Cryogenic Piping System jeung Equipment Rojongan patali.
Kanggo inpo nu leuwih lengkep, mangga buka ramatloka resmiwww.hlcryo.com, atanapi email kainfo@cdholy.com.
waktos pos: May-06-2021
