Téknologi
Molecular beam epitaxy, atanapi MBE, mangrupikeun téknik énggal pikeun ngembang film ipis kristal kualitas luhur dina substrat kristal. Dina kaayaan vakum ultra-luhur, ku kompor pemanasan ieu dilengkepan sagala jinis komponén diperlukeun tur ngahasilkeun uap, ngaliwatan liang kabentuk sanggeus collimating beam atom atawa beam molekular, suntik langsung ka suhu luyu tina substrat kristal tunggal, ngadalikeun beam molekular ka substrat scanning dina waktos anu sareng, éta bisa nyieun molekul atawa atom dina lapisan alignment kristal pikeun ngabentuk pilem ipis dina substrat "pertumbuhan".
Pikeun operasi normal pakakas MBE, purity tinggi, tekanan lemah sareng ultra-bersih nitrogén cair diperlukeun pikeun terus-terusan sarta stably diangkut ka chamber cooling pakakas. Sacara umum, tank nu nyadiakeun nitrogén cair boga tekanan kaluaran antara 0.3MPa na 0.8MPa.Nitrogén cair dina -196 ℃ gampang ngejat kana nitrogén salila transportasi pipa. Sakali nitrogén cair kalawan nisbah gas-cair ngeunaan 1:700 ieu gasified dina pipa, éta bakal ngeusian jumlah badag spasi aliran nitrogén cair jeung ngurangan aliran normal dina tungtung pipa nitrogén cair. Salaku tambahan, dina tanki panyimpen nitrogén cair, kamungkinan aya lebu anu teu acan dibersihkeun. Dina pipa nitrogén cair, ayana hawa baseuh ogé bakal ngakibatkeun generasi és slag. Lamun pangotor ieu discharged kana parabot, éta bakal ngabalukarkeun karuksakan unpredictable kana alat.
Ku alatan éta, nitrogén cair dina tank gudang outdoor ieu diangkut ka alat MBE di workshop lebu-gratis kalawan efisiensi tinggi, stabilitas jeung bersih, sarta tekanan low, euweuh nitrogén, euweuh najis, 24 jam uninterrupted, sistem kontrol transportasi misalna. produk mumpuni.
Alatan MBE cocog
Kusabab 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) parantos ngaoptimalkeun sareng ningkatkeun sistem ieu sareng gawé bareng sareng produsén alat MBE internasional. Pabrikan alat MBE, kalebet DCA, REBER, gaduh hubungan koperasi sareng perusahaan urang. pabrik alat MBE, kaasup DCA na REBER, geus cooperated dina angka nu gede ngarupakeun proyék.
Riber SA mangrupikeun panyadia global utama produk molekular beam epitaxy (MBE) sareng jasa anu aya hubunganana pikeun panalungtikan semikonduktor sanyawa sareng aplikasi industri. Alat Riber MBE tiasa nyimpen lapisan bahan anu ipis pisan dina substrat, kalayan kadali anu luhur pisan. Parabot vakum HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dilengkepan Riber SA Alat pangbadagna nyaéta Riber 6000 jeung pangleutikna nyaéta Compact 21. Ieu dina kaayaan alus sarta geus dipikawanoh ku konsumén.
DCA mangrupikeun oksida MBE pangpayunna di dunya. Kusabab 1993, pamekaran sistematis téknik oksidasi, pemanasan substrat antioksidan sareng sumber antioksidan parantos dilaksanakeun. Ku sabab kitu, seueur laboratorium utama anu milih téknologi oksida DCA. Sistem MBE semikonduktor komposit dianggo di sakumna dunya. Sistem sirkulasi nitrogén cair VJ of HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) sareng alat MBE tina sababaraha modél DCA gaduh pangalaman anu cocog dina seueur proyék, sapertos modél P600, R450, SGC800 jsb.
Performance Table
| Shanghai Institute of Téknis Fisika, Cina Akademi Élmu |
| The 11 Institute of China Electronics Technology Corporation |
| Institut Semikonduktor, Akademi Élmu Cina |
| Huawei |
| Alibaba DAMO Akademi |
| Powertech Téhnologi Nyarita. |
| Delta Electronics Nyarita. |
| Suzhou Everbright Photonics |
waktos pos: May-26-2021
